近紅外光電係統檢測晶片瑕疵
2021-11-15(6699)次瀏覽
在可見光下無法捕捉到矽片表麵的圖像。連接一台近紅外顯微鏡和一個近紅外銦镓砷攝像機...
在可見光下無法捕捉到矽片表麵的圖像。連接一台近紅外顯微鏡和一個近紅外銦镓砷攝像機則可以打破這個限製，由此可以組成一個觀測係統來檢測晶片的瑕疵。
銦镓砷探測器對近紅外區和波帶範圍為900nm到1700nm的短波紅外區的能量尤為敏感。這一特性使得它在檢測特定情況下的光電效應時功效卓越。例如，銦镓砷探測器可以探測到集成電路中晶體管故障時發出的微弱光信號，從而輕易地發現故障。
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